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關鍵詞：真空泵檢漏儀，泵閥檢漏裝置，真空檢漏儀器

  隨著真空技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，因此，對于真空泵氣密性要求特別嚴格。

  真空泵泄漏一直是生產廠家為止頭疼的問題之一，不僅麻煩而且要花費大量時間、人力、精力以及財力，但又不一定能夠很好解決泄漏這個關鍵性的問題。那么，該如何做好真空泵檢漏工作呢?

  常用的真空泵檢漏方法有：

  加壓法。充入一定大氣壓的空氣，放置24小時或更長，通過查看壓力表上壓力度數是否下降來判斷是否泄漏。用這種方法可檢到10-1Pa•m3/S左右的小漏率。

  涂抹肥皂水法。在懷疑泄漏位置涂抹肥皂水，看是否有肥皂泡出現，可檢到10-2～10-3Pa•m3/S。

  氦質譜檢漏儀：吸槍法可檢到10-3～10-7 Pa•m3/S。

  以上方法，氦質譜檢漏儀獨具優勢，檢漏精度高，速度快，安全，但是氦氣難制取，成本高，令很多生產廠家望而卻步。為此，超鉅科技自主研發生產出一款“超鉅微檢”真空泵檢漏儀，檢漏精度等同氦質譜檢漏儀，氣體成本僅是氦氣的1/15~1/20，符合更多生產廠家使用需求。

  除此之外，“超鉅微檢”技術還廣泛應用于空調制冷、凈水凈飲、冰箱冷柜、暖通泵閥、汽車等眾多行業。

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