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關鍵詞：氦質譜檢漏儀 氦質譜檢漏設備 氫氣檢漏儀

  氦質譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

  氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中最常用的兩種方法。

  隨著氣密性檢測手段的不斷發展，國外一些公司開始使用性價比更高的氫氣檢漏儀進行檢漏，氫氣檢漏法具有高精度，氫氣檢漏儀的可檢漏率低至5*10-7mbarl/s，相當于0.1克/年，和氦質譜吸槍法的精度相同。并且具有以下幾個特點：

  ATH-3000氫氣檢漏儀用5%的氫氣和95%的氮氣的混合氣作為示蹤氣體進行檢漏，是當今國際上最先進的干式無損檢漏方法之一，無論是在漏點定位還是在泄漏測試應用，都具有獨一無二的優勢，特別是氫氣檢漏儀的低成本、免維護、高精度，無疑給廣大企業帶來了精密檢漏的技術革新。 

  ATH-3000氫氣檢漏儀.可廣泛應用于空調制冷領域、汽車散熱器、汽車氣缸、換熱器、泵閥領域等，它具有以下優點：

  1、精度高。氫氣檢漏儀的可檢漏率低至5*10-7mbarl/s，相當于0.1克/年，和氦質譜吸槍法的精度相同。

  2、安全性好。5%氫氣和95%氮氣的混合氣體是符合國際標準的安全不可燃氣體，無毒性和腐蝕性，綠色環保，不會對設備和環境產生不利的影響。

  3、適用性廣。氫氣檢漏和氦氣檢漏、鹵素檢漏以及水泡法或者壓降法檢漏的原理是相似的，只是注入的氣體不同。這幾種檢漏方法轉換為氫氣檢漏非常方便，只需要改變氣源，用氫氣檢漏儀進行檢漏就可以了。

  4、響應速度快。氫氣檢漏儀的分析元件在探棒部分，不像氦氣檢漏儀那樣需要將氣體通過管道吸入到質譜室進行分析，氫氣檢漏儀的響應很快，在0.5~1s就會有響應。

  5、小巧便攜，方便移動。氫氣檢漏儀的體積小、重量輕。

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